6일 네덜란드 언론 보도에 따르면, 네덜란드 반도체 장비 공급업체인 ASML이 "미국이 발급한 극자외광각기(EUV) 판매허가서와 관계없이 중국에 반도체 장비를 계속 공급하길 원한다."고 밝혔다. 세계에서 유일하게 EUV를 생산할 수 있는 ASML가 중국 반도체 제조사와의 거래를 계속 하고자 하는 것이다.
2018년 5월 중국 반도체 메이커 중심인터내셔널 회사가 네덜란드 ASML회사에 1억2000만 달러의 EUV를 발주했으며, 2019년 초 인도될 예정이었다. 그러나 인도 시점을 앞두고 ASML 공장에 갑자기 큰 불이 나 EUV 인도가 지연돼 2020년 6월쯤 인도될 예정이었다.
ASML 회사 대변인 모니크 몰스(Monique Mols)는 "와산나 협약에 따라 ASML의 EUV 중국수출은 네덜란드 관련당국에 허가 받아해야 한다."고 말했다. 현재 수출허가 신청이 접수돼 관련 부처의 승인을 기다리고 있는 중이다.
ASML회사 전체 매출에서 중국이 차지하는 비중이 20%에 달해 한국의 35%에 이어 두 번째로 큰 수입국이 되기 때문에, 네덜란드 기업이 미국의 반대를 무시하고 중국 시장을 확보하고자 하는 것이다.
그런데 미국의 방해가 미칠 영향은 제한적일 것이라는 분석도 있다. 현재 중국 중심국제 회사가 양산 중인 반도체 규격이 14nm인 제품이어서, 당장은 7nm 이하의 제품을 생산하지 않아도 생산에 큰 지장은 없을 것으로 보인다.
